CZ100200
CZシリーズ 1軸Zステージ
CZは1軸コンパクトZナノポジショナーで、Zに沿って100μmまたは200μmのストロークを有します。そのコンパクトな設計により、3Dイメージング、Zスタック、オートフォーカス、レーザー書き込みアプリケーションなどに理想的なツールです。必要に応じて、X-Y軸も追加できます（3軸モデルC3を参照）。
仕様 図面
特徴
・コンパクトデザイン
・Z軸 100μm,200μm
・クローズドループ制御
・シリコンセンサー技術
応用例
・アライメント
・レーザー彫刻
・フェムト秒レーザー
・共焦点顕微鏡
・3D プリンター
| 仕様 | CZ.100 | CZ.200 | 単位 |
| ストローク | 100 | 200 | μm |
| 分解能 | 0.1 | 0.2 | nm |
| 単体ノイズ | 0.01 | 0.02 | nm |
| 繰返し位置精度(全域) | 0.2 | 0.4 | nm |
| 直線性 | 0.02 | 0.02 | % |
| 共振周波数 | 500 | 400 | Hz |
| 剛性 | 0.6 | 0.4 | N/μm |
| 水平使用時最大荷重※1 | 0.5 | 0.5 | kg |
| 垂直使用時最大荷重※1 | 0.1 | 0.1 | kg |
| センサー | シリコンHRセンサー | シリコンHRセンサー | ー |
| サイズ[WxLxH] | 48.5x48.5x25.7 | 48.5x48.5x25.7 | mm |
| 材質 | アルミニウム | アルミニウム | ー |
| ケーブル長※2 | 2 | 2 | m |
| コントローラー | 標準 | 標準 | ー |
※1 高負荷タイプ 可
※2 長さ変更 可
