ピエゾアシストステージ
ピエゾアシストステージ
「ピエゾアシストステージ」
① ピエゾアシストステージとは?
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途(ナノインデンテーション)でも容易に実現できる手動精密ステージです。
大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。
低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。(*1nm=10億分の1m)
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ピエゾアシストステージ
品番 | テーブル サイズ | 粗動移動量 | 微動移動量 | 微動量 最小分解能 | マイクロメーター 操作位置 |
MTPA-2251SPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2251SRPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2251SRZPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2251SZPA | 25×25mm | ±3mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2401SPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2401SRPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2401SRZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2401SZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2601SPA | 60×60mm | ±6.5mm | 30µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2601SRPA | 60×60mm | ±6.5mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2601SRZPA | 60×60mm | ±6.5mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
MTPA-2601SZPA | 60×60mm | ±6.5mm | 25µm以上 | 20µm以上 | サイド |
※ピエゾアシストステージとコントローラに繋がる専用のケーブルが付属しています。
※「ピエゾアシスト」、「Piezo Assist」および「PiezoAssist」は有限会社メカノトランスフォーマの登録商標です
ピエゾアシストステージコントローラ
品名 | タイプ | 制御軸数 | 電源電圧 |
MTSD2001 | ピエゾアシストステージコントローラ | 1軸 | DC6V / 0.8A |
MTSD2003 | ピエゾアシストステージコントローラ | 3軸 | DC6V / 1.8A |
SPU15-102 | アダプタ | DC6V / 2.0A |
② ピエゾアシストステージの動作原理
■装置の構成
ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。
ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。
マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。
ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。
■粗動機構による精密位置決め
粗動機構による精密位置決めはマイクロメータのノブを回転させ、メータ記載の目盛りにより位置調整をします。
■微動機構による精密位置決め
微動機構による精密位置決めはコントロールボックスのノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵しているピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。ピエゾアクチュエータは、コントローラボックスから供給する電圧によりアクチュエータの出力部の変位を制御することができます。その結果、ステージのテーブルの位置をナノメートルレベルで制御することを実現します。
④ ピエゾアシストコントローラ (MTSD2001とMTSD2003)
・ピエゾアシストステージの微動調整を行う専用コントローラです。
・コントローラ種類:1軸タイプ(MTSD2001)と3軸タイプ(MTSD2003)
・コントローラのダイアルノブを回転させ、ピエゾアシストステージに内蔵している
ピエゾアクチュエータへ供給する電圧を変化させて位置調整します。
専用ケーブル (2m)
仕様
品名 | MTSD2001 | MTSD2003 | アダプタ (SPU15-102) |
制御軸数 | 1軸 | 3軸 | |
電源電圧 | DC6V / 0.8A | DC6V / 1.8A | DC6V / 2.0A |
対応ACアダプタ | SPU15-102 | SPU15-102 | |
動作温度 | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ |
保存温度 | -20~60℃ | -20~60℃ | -20~60℃ |
周囲温度 | 20~80%RH (結露なきこと) | 20~80%RH (結露なきこと) | 20~80%RH (結露なきこと) |
外形寸法 (突起部除く) | 80x80x25mm | 100x80x25mm | 60x43.5x40.2mm |
Safety | - | - | IEC62368-1 Edition 2.0 CoC V5 (Tierw) |
質量 | 0.12kg | 0.28kg | 0.17kg |
※DCジャックの適応サイズはφ4mmです。お客様にて電源をご準備される際は、
プラグ径にご注意ください。
※ピエゾアシストステージ用コントローラ(MTSD200X)の電源をOFFにすると、
ピエゾアシストステージの位置調整が変化し、微動調整分の位置ズレが発生します。