レーザ関連部品、ナノポジショニング、サーマルソリューションのご用命は、株式会社キーストンインターナショナル

■SPA 概要
Stepping Piezoelectric Actuators(SPA)は、CEDRAT社のAPAシリーズを使い、ナノ/ミクロンの領域をカバーした新しいロング・ストロークリニア圧電モーターです。SPAは尺取虫と同様、微小ステップ繰り返しをすることで作動します。各ステップでは、アクチュエータの位置は固定され、ロング・ストロークでは、微小ステップの蓄積変形モードとして動作します。
この場合ストロークは印加電圧に比例し、このことはナノメートルの精度と広いバンド幅が実現します。このアクチュエータは当社社の標準リニアー電源でご使用いただけます。

資料

■特徴

1. アクチュエータの停止位置で駆動電源をかけることなく大きな停止パワーが得られます。
2. 全ストローク内でナノオーダーの精密位置決めができ、磁気を使わないため、漏洩磁界がありません。